影像測量儀是一種利用光學顯微鏡對待測物體進行放大成像，再由CCD攝像系統將放大后的被測物體影像傳送給與儀器相連接的計算機，然后用以非接觸、高效檢測到各種復雜工件幾何量的設備。
 
在實際測量過程中，影像測量儀測量的工件不都是光滑的，也有一些比較粗糙的工件會被需要用來測量，一般來說光滑的工件成像會比較清晰，因此也會比較好得出精確的測量結果，而粗糙的工件則有所不同，成像可能會不清晰，也會從各種方面影響到測量的結果，因此在測量粗糙時影像測量儀需要采取相應的方法來進行，才可以得到準確的結果。
 
一般來說影像測量儀在測量粗糙工件時可以采用以下三種方法，分別是印模法、干涉法和光切法三種。印模法是指工件在測量之前使用石蠟或者一些低熔點的合金等印模材料，將其印在被測量的工件的表面，然后再將其放置到影像測量儀的顯微鏡下進行測量，這種方法雖然可以很好的測量出結果，但是也有一定的局限性，主要適用于大型或者重量較大的工件。
 
干涉法是指利用影像測量儀的光波干涉原理，然后使用干涉顯微鏡進行具體的尺寸測量。光切法也是同樣利用影像測量儀的光切原理進行的，最后使用設備的雙管顯微鏡進行相關的測量。